隨著我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展,國(guó)內(nèi)多個(gè)12寸晶圓廠的建立,快速激增了晶圓探針臺(tái)設(shè)備的市場(chǎng)需求,晶圓探針臺(tái)是半導(dǎo)體制造中WAT/CP測(cè)試環(huán)節(jié)的重要設(shè)備之一,主要用于對(duì)晶圓進(jìn)行電性和光效參數(shù)測(cè)試,通過(guò)測(cè)試篩選控制芯片的良率,從而為芯片生產(chǎn)提質(zhì)增效;
由于探針臺(tái)技術(shù)門檻高,研發(fā)周期長(zhǎng)且投入成本大,目前全球高端探針臺(tái)市場(chǎng)仍主要被日韓等國(guó)所占據(jù);近年來(lái)在國(guó)家對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的大力扶持下,國(guó)產(chǎn)化技術(shù)的發(fā)展進(jìn)程不斷加快,中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)將加速迎來(lái)國(guó)產(chǎn)替代的機(jī)會(huì),在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)中,探針臺(tái)是我國(guó)目前最有希望能實(shí)現(xiàn)高國(guó)產(chǎn)化率的設(shè)備。
借助于機(jī)械探針臺(tái)領(lǐng)域多年的技術(shù)經(jīng)驗(yàn),SEMISHARE科技早在2016年就展開(kāi)了對(duì)全自動(dòng)晶圓探針臺(tái)項(xiàng)目的研發(fā);公司先后在2019年、2020年接受了投資機(jī)構(gòu)的A、B輪融資,并逐步開(kāi)始布局工業(yè)級(jí)晶圓探針臺(tái)領(lǐng)域市場(chǎng)。據(jù)SEMISHARE相關(guān)負(fù)責(zé)人消息,公司將計(jì)劃2021年3月正式在國(guó)內(nèi)推出首款晶圓級(jí)A12全自動(dòng)探針臺(tái),并在上海SEMICON展會(huì)上進(jìn)行首展(展位:N3館3487),屆時(shí)讓我們親臨展會(huì)現(xiàn)場(chǎng)體驗(yàn)……
晶圓級(jí)探針臺(tái)不同于LED領(lǐng)域應(yīng)用型探針臺(tái),其設(shè)備要求的技術(shù)性能更為嚴(yán)苛,主要體現(xiàn)在測(cè)試精度,自動(dòng)化程度、精密控制等方面。此次SEMISHARE公司推出的A12探針臺(tái)在(晶圓自動(dòng)上下片裝載輸送、微米級(jí)全閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制、Wafer自動(dòng)精準(zhǔn)對(duì)針、視覺(jué)自動(dòng)精確校準(zhǔn)、高速反饋通信、數(shù)據(jù)信息處理)等方面做出了創(chuàng)新性的技術(shù)改進(jìn),該設(shè)備提供一種全自動(dòng)晶圓級(jí)針測(cè)技術(shù)( 發(fā)明專利:201910551106.3),是一款向下兼容處理12"/8"標(biāo)準(zhǔn)晶圓的WAT/CP測(cè)試設(shè)備,能為不同客戶提供一個(gè)經(jīng)濟(jì)且穩(wěn)定優(yōu)異的晶圓測(cè)試方案。
A12探針臺(tái)可提供支持高低溫測(cè)試,設(shè)備采用采德國(guó)ERS公司的AC3 300mm 最新氣冷高低控溫卡盤系統(tǒng),在兼具了寬泛的高低溫度選項(xiàng)(-65℃到300℃)的同時(shí),溫度的均勻性可穩(wěn)定在<+/- 0.1℃。
SEMISHARE科技A12全自動(dòng)探針臺(tái)的推出,將持續(xù)為中國(guó)半導(dǎo)體高端設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展助力!未來(lái),隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)進(jìn)入密集建設(shè)期,5G、汽車電子、智慧家居等終端應(yīng)用持續(xù)攀升,將不斷刺激對(duì)半導(dǎo)體市場(chǎng)的日漸增長(zhǎng),進(jìn)而推動(dòng)探針臺(tái)需求的增加。在需求增長(zhǎng)的同時(shí),國(guó)內(nèi)企業(yè)在國(guó)家政策以及在市場(chǎng)的推動(dòng)下將更注重研發(fā)投入,通過(guò)不斷提升國(guó)產(chǎn)設(shè)備的技術(shù)性能與質(zhì)量,以此逐步實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)探針臺(tái)的自給能力。