掩膜版Mask Cut Repair L14
產(chǎn)品概要
L14系列掩膜版激光切割修復(fù)設(shè)備主要是對(duì)掩膜版使用過程中的缺陷進(jìn)行修復(fù)，設(shè)備以SEMISHARE領(lǐng)先的機(jī)器視覺系統(tǒng)為核心，能為高價(jià)值掩膜版mask缺陷提供高精度的修復(fù)解決方案，更大程度的節(jié)約企業(yè)的生產(chǎn)制造成本。
基本信息
| 產(chǎn)品型號(hào) | L14 | 工作環(huán)境 | 開放式 |
| 電力需求 | AC 220V ±5% 50Hz | 操控方式 | 手動(dòng) |
| 產(chǎn)品尺寸 | 可定制 | 設(shè)備重量 | 可定制 |
應(yīng)用方向
需要精確切割或去除特定材料層的應(yīng)用場(chǎng)景
技術(shù)特點(diǎn)
掩膜版Mask Cut Repair
●能夠處理包括鉻、硅、氮化硅、石英、EUV材料、外來顆粒和頑固未知顆粒等各種材料的修復(fù)；
●能夠在不影響掩膜版其他部分的情況下，精確地去除或修復(fù)缺陷區(qū)域；
●能夠根據(jù)客戶需求，提供定制化產(chǎn)品。
