A系列全自動探針臺
產(chǎn)品概要
支持SiC/GaN晶圓測試，大功率晶圓測試； 更換Chuck設(shè)計，可針對不同晶圓測試； 可與儀器儀表系統(tǒng)進行集成； 可升級高低溫測試環(huán)境測試
基本信息
| 產(chǎn)品型號 | A8、A12 | 工作環(huán)境 | 開放式 |
| 電力需求 | 220V，50/60Hz | 操控方式 | 全自動 |
| 產(chǎn)品尺寸 | A8(1124 x 1111 x 925) ；A12(1600 x 1660 x 1450) | 設(shè)備重量 | 1.2T, 2T |
應(yīng)用方向
晶圓測試、各類器件、Wafer等進行I-V、C-V、光信號、RF、1/f噪聲等特性分析、射頻測試等
技術(shù)特點
A8全自動探針臺
●小尺寸輕重量，更小的占地面積
●微米級全閉環(huán)運動控制
●伯努利手臂支持薄片
●高精度和測試速度，大大提高測試效率
●24*7全天候在片探測
●高壓大電流測試應(yīng)用
A12全自動探針臺
●高測試精度與測試速度，大大提升產(chǎn)能效益
●全自動化系統(tǒng)運行，快速安全可靠測試
●支持單點測試和連續(xù)測試
●綜合控制系統(tǒng)，快速接入儀器測試
●XY最大速度(絲桿結(jié)構(gòu))：250mm/s;(直線電機)：500mm/s
●Index time(絲桿結(jié)構(gòu))：280ms;(直線電機)：200ms
●豐富的軟件自動化測試 ，機械精度精確校準
●可升級自動wafer厚度測量和ID讀卡
●內(nèi)部防震系統(tǒng)裝置，運行更穩(wěn)定
