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測試技術(shù)
RF射頻測試包括67GHz射頻測試、毫米波（mmW）-70GHz到Sub-THz和負載牽引測試、太赫茲（THz）和負載牽引測試。近幾年來隨著射頻半導體行業(yè)的快速發(fā)展，射頻微波技術(shù)廣泛應用于無線蜂窩通信、衛(wèi)星通信、GPS定位導航、汽車雷達、智能電子收費系統(tǒng)以及軍事通信等領域，多個城市也已開啟5G網(wǎng)絡持續(xù)覆蓋。晶圓級射頻及毫米波（RF & mmW）特性描述是射頻及毫米波積體電路開發(fā)、設計除錯，以及高效能半導體元件建模的關(guān)鍵部分。
射頻量測需求主要涵蓋 RF 功率及 RF 雜訊特性描述之大小訊號量測、S 參數(shù)、訊號源、負載拉移阻抗匹配等 。由于晶圓級 RF 測試儀器（如：向量網(wǎng)路分析儀、升頻器、阻抗調(diào)諧器、藕合器、Bias-Ts 及許多其他系統(tǒng)元件）之架設整合具高複雜性及需求特殊性。因此這些應用皆挑戰(zhàn)探針臺系統(tǒng)的機械穩(wěn)定性、最短傳輸路徑、量測最佳方向性、長時間于不同類型金屬待測物上重複且高一致性的點測能力、以及是否可精準校正至待測物端之能力。
對微波器件進行S參數(shù)測試、波量測試、比值測試，包括幅度、相位、延時等測試。
1. 卡盤尺寸不小于6英寸，X-Y-Z移動行程不小于150mm?150mm?10mm, 兼容手動和半自動控制方式，對應精度0.1μm?0.1μm?0.1μm ，Theta軸電動旋轉(zhuǎn)±5°，精度0.001°。2.卡盤采用獨立吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品，均獨立控制，獨立吸附孔直徑可以選擇500 微米以下，除最大尺寸外能夠兼容使用50.8mm?50.8mm，50mm?60mm，60mm?70mm陶瓷方片，以及單個小尺寸樣品（小尺寸樣品尺寸大于吸附孔直徑）。同時配備吸盤夾具，夾具上有定位標示滿足三種尺寸有孔的陶瓷方片吸附測試。
