產(chǎn)品概要
SEMISHARE CGX半自動真空高低溫探針臺,專為研發(fā)和特定生產(chǎn)應(yīng)用而設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)在真空環(huán)境下，溫度范圍：77K-450K(液氮)，10K-450K(液氦)，在單片晶圓上快速完成高精度測試。
基本信息
| 產(chǎn)品型號 | CGX8 | 工作環(huán)境 | 真空高低溫環(huán)境 |
| 電力需求 | AC220V,50~60HZ | 操控方式 | 半自動 |
| 產(chǎn)品尺寸 | 1150*1450*1800mm | 設(shè)備重量 | 約1000KG |
應(yīng)用方向
根據(jù)測試樣品分類：晶圓測試，LED測試，功率器件測試，MEMS測試，PCB測試，液晶面板測試，太陽能電池片測試，材料表面電阻率測試
根據(jù)應(yīng)用分類： 射頻測試，高溫環(huán)境測試，低電流（100fA 級）測試，I-v/c-v/p-iv測試，高壓，大電流測試，磁場環(huán)境測試，輻射環(huán)境測試
技術(shù)特點(diǎn)
空氣薄膜減震系統(tǒng)
內(nèi)置一體化高性能空氣薄膜減震系統(tǒng)和外置隔離防撞欄的雙重設(shè)計(jì)，有效避免因操作人員觸碰引起的震動；
并采用長時效的鑄件作為基板，在運(yùn)動過程中震動抑制以≤1S的快速度保證設(shè)備的平穩(wěn)運(yùn)行，確保圖像2000X放大時畫面不抖動；
同時高精度調(diào)節(jié)閥保證平臺運(yùn)動部分在高度上的誤差為≤0.1mm，有效實(shí)現(xiàn)快速die to die的測試能力，確保整個系統(tǒng)在高速運(yùn)動時仍能保持穩(wěn)定的運(yùn)行狀態(tài)，極大程度的提高測試效率。
自主研發(fā)的軟件集成系統(tǒng)，兼容性更強(qiáng)
●支持半自動控制（可手動測試、亦可自動測試）
●自動Wafer校準(zhǔn)、自動wafer?mapping、自動die size測量、自動align、自動測試數(shù)據(jù)可遠(yuǎn)程訪問
●一鍵自動校準(zhǔn)RF探針模塊，自動清針功能
●一鍵式自適應(yīng)四軸Chuck精度校準(zhǔn)，支持微米級pad點(diǎn)測
●可支持單點(diǎn)測試或連續(xù)測試
● 強(qiáng)大的數(shù)據(jù)儲存能力以及數(shù)據(jù)處理能力
●可對測試結(jié)果進(jìn)行BIN值劃分，判斷器件NG
●多系統(tǒng)集成功能，可獨(dú)立升級操作系統(tǒng)、應(yīng)用系統(tǒng)和器件測試系統(tǒng)
電動變倍顯微鏡
12：1快速精準(zhǔn)電動變倍顯微鏡，變倍范圍0.6X~7.2X，圖像分辨率3.05μm，綜合放大倍率33X~396X
高效的CHUCK系統(tǒng)，測試效率大幅度提升
● 高效的CHUCK測試系統(tǒng)運(yùn)行速度≥40mm/s，運(yùn)動精度≤±1μm，同時移動轉(zhuǎn)位時間index time≤500ms，優(yōu)異的系統(tǒng)運(yùn)行參數(shù)已達(dá)到領(lǐng)先水平，高測試精度和效率滿足各類晶圓和器件的高重復(fù)性與穩(wěn)定性測試測試效率有效大幅度提升；
●優(yōu)于±0.1℃的溫控精度和穩(wěn)定性，提供高低溫環(huán)境下的可靠性晶圓測試；
●四維運(yùn)動低重心緊湊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，確保40mm/s的運(yùn)動速率的同時保持運(yùn)動加減速的穩(wěn)定性。
