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探針臺(tái)
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產(chǎn)品概況 功能結(jié)構(gòu) 規(guī)格參數(shù) 資料下載 視頻

C系列高低溫探針臺(tái)

產(chǎn)品概要

C系列高低溫探針臺(tái)具有優(yōu)異的機(jī)械系統(tǒng),結(jié)構(gòu)性能穩(wěn)定,人體工程學(xué)設(shè)計(jì),操作便捷,支持多功能升級(jí),功能豐富全面。該產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路,LED,LCD,太陽能電池,半導(dǎo)體行業(yè)的制造和研究領(lǐng)域。

基本信息

產(chǎn)品型號(hào) C6/C8/C12 工作環(huán)境 高低溫環(huán)境
電力需求 220VC,50~60Hz 操控方式 手動(dòng)
產(chǎn)品尺寸 長寬高:1400mm*920mm*920mm 設(shè)備重量 150KG/170KG/250KG

應(yīng)用方向

高低溫環(huán)境下,LD/LED/PD測試,PCB/封裝器件測試,材料/器件的IV/CV特性測試、0.2微米以上芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測試、高頻、射頻測試等

技術(shù)特點(diǎn)

產(chǎn)品特點(diǎn)

> 創(chuàng)新的氣動(dòng)式卡盤XY移動(dòng)平臺(tái) 滿足客戶對整塊晶圓的測試需要;提供3種快速移動(dòng)方式 >三段式升降針座平臺(tái) 針座平臺(tái)具有用于晶圓接觸,分離(300μm)和裝載的三段升降功能,帶有安全鎖裝置,可防止探頭或晶圓意外損壞的同時(shí),確保精準(zhǔn)的接觸定位 >先進(jìn)的3ZOOM?成像技術(shù) 在圖像中能觀察到3種倍率的成像效果,無需進(jìn)行倍率和鏡頭切換 >密閉腔結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 屏蔽外部電信干擾,提供更低噪聲和漏電流環(huán)境,同時(shí)保持氮或正壓環(huán)境下樣品低溫?zé)o結(jié)霜,獨(dú)特的腔體吹氣結(jié)構(gòu),防止低溫結(jié)霜現(xiàn)象



C系列高低溫探針臺(tái)

>卡盤XY移動(dòng)平臺(tái)(標(biāo)準(zhǔn)配置)

型號(hào)

C6

C8

C12

XY行程范圍

205mm x205 mm

305mm x305 mm (12"x12")

XY最佳行程

205mm x205 mm

305mm x 305 mm(滿足大范圍行程測試)

移動(dòng)精度/分辨率

1.0 μm (0.04 mils) (~0.8 mm/rev)

平面性

<10μm

theta行程

微調(diào)精度:± 15.0° (optional)*

分辨率:7.5 x 10-3 gradient

運(yùn)動(dòng)控制

氣控+無牙螺母控制



>針座平臺(tái)

材料

鋼鍍鎳

尺寸

見產(chǎn)品尺寸介紹第8

最大針座數(shù)量

8 DC and 4 RF(取于針座配置)

Z-height運(yùn)動(dòng)范圍

Max.0-40mm (取于卡盤配置)

Separation lift

3段:分離(300μm),Load裝載(5mm),不間斷升降(0-40mm)

接觸重復(fù)性

±1μm (0.08 mils)

RF 針座固定

磁力吸附/真空吸附

DC 針座固定

磁力吸附/真空吸附



>屏蔽腔電氣規(guī)格

EMI屏蔽

>30 dB(typical) @ 1 kHz to 1 MHz

光衰減

130dB

光譜噪聲基底

≤-180dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)

系統(tǒng)交流噪聲

≤5 mVp-p (≤ 1 GHz)

?        通過提供完全的電磁屏蔽,超低噪音,不透光的環(huán)境,降低電噪聲

?        可在低至-60℃條件下實(shí)現(xiàn)aA電流、fF電容和μV電壓的測量

?        適合諸如 1/f 噪聲測量等敏感應(yīng)用的最佳測試條件

?        可提供-60°C +300°C 的溫度量測范圍




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