專利類型：發(fā)明專利
專利號：2023105296913

Automatic probe stationTM技術(shù)，涉及晶圓檢測的技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種全自動晶圓測試設(shè)備及方法，包括機(jī)箱、料倉、支撐架、預(yù)定位機(jī)構(gòu)及檢測機(jī)構(gòu)。其中，機(jī)箱內(nèi)設(shè)置有分隔板，分隔板將機(jī)箱內(nèi)部分隔出轉(zhuǎn)運(yùn)腔及檢測腔；料倉設(shè)置在機(jī)箱上，機(jī)械手設(shè)置在轉(zhuǎn)運(yùn)腔內(nèi)且靠近料倉，機(jī)械手用于轉(zhuǎn)運(yùn)晶圓；支撐架設(shè)置在轉(zhuǎn)運(yùn)腔內(nèi)，預(yù)定位機(jī)構(gòu)設(shè)置在支撐架上且遠(yuǎn)離料倉，預(yù)定位機(jī)構(gòu)用于對晶圓的正面或背面的編號進(jìn)行檢測，并調(diào)整晶圓的位置；檢測機(jī)構(gòu)設(shè)置在檢測腔內(nèi)，檢測機(jī)構(gòu)包括卡盤及針卡夾具，針卡夾具用于夾持針卡，機(jī)械手用于將晶圓從轉(zhuǎn)運(yùn)腔轉(zhuǎn)運(yùn)至檢測腔內(nèi)，并將晶圓放置在卡盤上，以便于針卡對卡盤上的晶圓進(jìn)行檢測。本申請具有便于對晶圓的位置進(jìn)行校準(zhǔn)的效果。