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面板TEG Prober
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型號
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TEG prober-G6
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TEG prober-G8.5
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外形
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2850mm(寬)x2500mm(長)x2500 mm(高)
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4000mm(寬)x3500mm(長)x2500 mm(高)
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重量
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約9700KG
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約14200KG
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電力需求
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380V，50Hz, 3Phase, approx. 50A Max
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可測試液晶屏尺寸
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長寬≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm
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長寬≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm
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平臺功能
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Gantry結(jié)構(gòu)
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龍門式，可以選擇雙龍門
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X-Y-Z軸運(yùn)動行程
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1850*1500 *58mm(X-Y-Z)
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2500 *2200*58mm(X-Y-Z)
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X-Y運(yùn)動速度
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0~600mm/s可調(diào)
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探針規(guī)格
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針卡
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兩套，可同時測試兩個patten
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X-Y精度(最小移動量)
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0.1um
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Pitch范圍：定制
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X-Y重復(fù)定位精度
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±1um
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探針材質(zhì)：鎢or鈹銅等
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X-Y 軸驅(qū)動
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直線電機(jī)+光柵尺
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工作模式：可以單獨(dú)測試，或者兩個針卡一起測試。兩個針卡間的相互距離可調(diào)。
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Z 運(yùn)動速度
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0~10mm/s可調(diào)
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Z精度
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0.25um
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探針和TEG對位方式
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坐標(biāo)定位
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Z重復(fù)定位精度
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±1um
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測試過程中的二次視覺檢測
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Z軸驅(qū)動
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伺服電機(jī)+光柵尺
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探針和TEG的接觸方式
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自動接觸
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Z軸保護(hù)
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電機(jī)自鎖+機(jī)械限位保護(hù)
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探針自動保護(hù)功能:edge sensor 和機(jī)械限位，可以根據(jù)panel厚度設(shè)定限位高度，點(diǎn)針的OD值可設(shè)。
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樣品臺平整度
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±50um平整度
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樣品臺涂層
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防靜電涂層
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樣品臺高低溫
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Temp Chuck 或者 Thermal Stream (-55~200℃)
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光學(xué)特性
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光路系統(tǒng)倍率：
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5X ,10X ,20X，50X Objects
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探針軸旋轉(zhuǎn)行程
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±90°
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放大倍率范圍50X~ 500X
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探針旋轉(zhuǎn)精度
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0.01°
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聚焦
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自動聚焦
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旋轉(zhuǎn)重復(fù)定位精度
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0.03°
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CCD
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200/500萬像素工業(yè)相機(jī)
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探針清潔
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自動清針
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光源
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面背光、點(diǎn)背光、上光源
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清潔后自動測針
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光源亮度獨(dú)立可調(diào)，面背光可選擇分區(qū)控制
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探針臺漏電精度（安裝針卡的情況）
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100fA 以內(nèi)（測試標(biāo)準(zhǔn)：給針卡任意針腳加壓—5V~+5V，在不吹N2的情況下，空載測試漏電流<100fA）吹氮?dú)?/span>N2輔助干燥(Recipe 可以設(shè)置是否開啟N2且N2測試報告體現(xiàn)開N2與不開N2區(qū)別)
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激光特性（選件）
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激光系統(tǒng)
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激光切割系統(tǒng)（2.2mj/Pluse Maximum@50Hz)
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0-100%
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激光波長
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1064nm，532nm，355nm
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光斑尺度
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1.0um @100X object
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測試能力
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測試系統(tǒng)
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兩套
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2.0um @50X object
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半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng):2*HRSMU+4*MPSMU+CV 測試單元+高精度矩陣開關(guān)等
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工作模式
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One Shot/Burst/Continue
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形狀
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可調(diào)節(jié)的矩形
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TFT測試項(xiàng)目
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Ion
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控制
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工作模式
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自動測試，CIM通訊，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的自動導(dǎo)入和輸出
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Ioff
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Vth
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上下片
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機(jī)械手或者流水線
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Mobility
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CIM系統(tǒng)
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有
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Swing
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減震
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被動式減震系統(tǒng)，能夠確保點(diǎn)針測試的穩(wěn)定性
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Resistance測試項(xiàng)目
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Rs
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工業(yè)PC
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23寸顯示器&電腦：i7 處理器，1TB硬盤2塊
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Rc
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(其中一塊為備份硬盤)，8G內(nèi)存，1G獨(dú)立顯卡
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最大輸送電壓
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±200V
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通訊接口
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RS232/485/TCP/IPGPIB等
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最大輸送電流
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±1A
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安全
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整機(jī)帶屏蔽罩，操作人員在屏蔽罩外操作
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電流測試分辨率
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1fA（無需前置放大器）
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緊急開關(guān)EMO
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電壓測試分辨率
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0.5uV
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限位sensor，運(yùn)動平臺和探針系統(tǒng)限位互鎖
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CV 測試頻率范圍
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1kHz~5MHz
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Interlock報警，自動關(guān)閉系統(tǒng)(軟件設(shè)置為可選)
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接地單元電流宿能力
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4.2A GNDU
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應(yīng)用方向
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OLED/TFT-LCD Panel TEG 電學(xué)測試
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特點(diǎn)：
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業(yè)界最快的測試速度
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超高的測試精度
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穩(wěn)定的測試結(jié)果
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mult-probe card設(shè)計(jì)
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0.1um精度的直線電機(jī)平臺
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自動清針，自動測針
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極小的針痕損傷
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全自動測試
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