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探針臺
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產品概況 功能結構 規(guī)格參數 資料下載 視頻

E系列增強型手動探針臺

產品概要

E 系列是一款功能進階級探針臺,能實現(xiàn) 1μm 以上的電極 Pad 測試,工效學設計簡單易操作,靈活的UPStart? 模塊化設計,客戶可通過最低的成本升級更多的測試功能,如:毫米波 mmW,F(xiàn)A、MEMS、WLR 和光電等測試。

基本信息

產品型號 E4/E6/E8/E12 工作環(huán)境 開放式
電力需求 220V,50~60Hz 操控方式 手動探針臺
產品尺寸 680mm長*670mm寬*760mm高 設備重量 約95KG

應用方向

LD/LED/PD的光強/波長測試、晶圓二極管、三極管測試、PCB元器件測試、材料/器件的IV/CV特性測試、、功率器件測試、MEMS器件測試、射頻測試等

技術特點

POMater? 自適應隔震底座

自適應減震底座設計,德國進口隔震材料增強彈性支撐,實現(xiàn)不同程度的剛性硬度和承載范圍,并有效過濾環(huán)境中的震動源干擾,確保探針末端和樣品的Pad穩(wěn)定接觸,提升測試的穩(wěn)定性

卡盤可升降調節(jié)

卡盤可微調升降,行程 5mm,精度 10μm,便于樣品快速分離探針。

顯微鏡氣動式快速升降

顯微鏡氣動式快速升降,便于更換顯微鏡和探針卡夾具。

大尺寸機臺設計

大尺寸機身結構,增強操作舒適度。更大空間的針座平臺,支持 加載針卡,提升點針測試效率。

機臺定制應用案例

1、石英樣品臺6英寸,玻璃樣品臺卡在不銹鋼上,不銹鋼卡盤通過立柱固定在X-Y平移臺上部 2、玻璃樣品臺采用高透紫外線玻璃,透光波長單位200nm-1100nm透光率85%以上,樣品固定方式采用彈片固定 3、兩個樣品臺可以拆卸使用

E系列增強型手動探針臺

型號

E4

E6

E8

E12

外形(長*寬*高/mm

680*670*760mm

680*670*760mm

750*670*800mm

1030*800*850mm

重量(KG)

約90kg

約95kg

約110kg

約210kg

電力需求

220VC,50~60Hz

卡盤

常溫標準

卡盤尺寸

4"

6"

8"

12"

樣品固定方式

環(huán)形真空吸附(可定制多孔吸附)

背電極測試功能

有,樣品臺電學獨立懸空

卡盤材質

不銹鋼/銅鍍鎳或鍍金


卡盤

移動平臺

Theta行程

360°旋轉(粗調);微調范圍±8°,微調精度0.002°

卡盤升降

卡盤臺可以上下快速升降5mm,微調升降行程6mm,精度1μm

X-Y行程

100*100mm

150*150mm

200*200mm

250*250mm

移動精度

10μm

卡盤快速拉出

N/A

控制方式

小型旋鈕驅動

針座平臺

外形尺寸

長550mm*寬405mm

長720mm*寬405mm

長980mm*寬480mm

卡盤到平臺距離

8mm(卡盤上表面與針座平臺下表面)

針座數量

最多可放6個針座

最多可放8個針座

最多可放10個針座

針座平臺升降

N/A

針座定位方式

磁力吸附或真空吸附

光學特性

鏡頭規(guī)格

標配PSM-1000金相顯微鏡/可選(GX-6金相,體視,視頻)顯微鏡

放大倍數

20-2000X

CCD像素

3種CCD可選:200W(數字)/500W(數字)/650W(數字)

運動控制

Z 軸移動行程 50.8 mm,同軸旋鈕調節(jié),細調精度優(yōu)于1μm

顯微鏡行程

顯微鏡2英寸XY平移臺范圍內移動

顯微鏡移動精度

1μm

點針規(guī)格

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm

機械精度

10μm/2μm/0.7μm

漏電精度

同軸1pA/V @25℃;三軸100fA/V @25℃; 三軸10pA@3kv @25°C,
測試條件:接地屏蔽的干燥環(huán)境(空氣露點低于-40°C)


接口形式

香蕉頭/鱷魚夾/同軸/三軸接口





暫無數據

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