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測試技術
專利類型：發(fā)明專利
專利號：2021108935892
High-accuracy ContactTM技術，涉及一種提高探針與晶圓測試點接觸精度的方法，確定各個探針點與各個測試點在X,Y軸上的位置關系.探針卡和第一視覺系統(tǒng)都始終處于固定的狀態(tài),因此探針不會出現(xiàn)運動精度不穩(wěn)定的情況,提高了探針與測試點的對位精度。
