據(jù)SEMI數(shù)據(jù)統(tǒng)計,2020年及2021 年,全球半導(dǎo)體測試設(shè)備市場規(guī)?;?qū)⒎謩e達到52.2億美元及56.1億美元。隨著國內(nèi)半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,多個晶圓廠及實驗室的建立,國內(nèi)探針臺市場規(guī)模2019年約為10.25億元,2022年將增長到15.69億元。
隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,復(fù)雜程度與日俱增,生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運用機械、光學(xué)、物理、化學(xué)等學(xué)科技術(shù),具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點。探針臺屬于重要的半導(dǎo)體測試裝備,在整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的多個環(huán)節(jié)起著重要作用,是晶圓廠和元器件封測企業(yè)的重要設(shè)備之一。隨著自動化技術(shù)的飛速發(fā)展,市場對自動化探針臺需求旺盛。自動化探針臺搭配測試機能夠?qū)Τ鰪S晶圓片的電氣參數(shù)、光學(xué)參數(shù)進行測試,根據(jù)測試結(jié)果評定上一道工序的工藝質(zhì)量,并指導(dǎo)下一道工序。
從全球市場看,半導(dǎo)體探針臺設(shè)備行業(yè)集中度較高,目前主要由國外廠商主導(dǎo),行業(yè)呈現(xiàn)較高壟斷的競爭格局。鑒于自動化探針臺是光、機、電高度一體化的產(chǎn)品,國內(nèi)在這一方向研究幾乎為零,市場主要被一些國外的大公司壟斷。SEMISHARE2017年投產(chǎn)X系列半自動探針臺并成功推向市場,成功填補國內(nèi)該研發(fā)生產(chǎn)領(lǐng)域的空白。
SEMISHARE(深圳市森美協(xié)爾科技有限公司)研發(fā)的X系列半自動探針臺是高精度探針臺并已成功實現(xiàn)量產(chǎn)和獲得國內(nèi)龍頭企業(yè)批量訂單。其技術(shù)指標可以達到國際領(lǐng)先水平,部分參數(shù)甚至優(yōu)于國際一線品牌,深圳市計量質(zhì)量檢測研究院日前已對半自動晶圓探針臺X系列完成檢測并出具相應(yīng)檢測報告。
01
X系列探針臺Chuck X Y Z Theta四軸
1、基板采用鑄件為基準進行設(shè)計,使運動的穩(wěn)定性得到提升,底板的重量同樣在隔震性能上得到提高。
2、運動系統(tǒng)采用的是日系高剛性、高精密的導(dǎo)軌和絲桿;反饋檢測系統(tǒng)采用的是0.1μm分辨率光柵尺配合進口運動控制卡與電機形成整個閉環(huán)的反饋檢測,以保證實現(xiàn)高精度高溫度性的運動系統(tǒng)。
3、整個四維運動設(shè)計成低重心的緊湊結(jié)構(gòu),保證其速率能到達70mm/s,并能提高運動過程中的加速。
4、關(guān)鍵零件用導(dǎo)電的表面處理,保證每個位置能進行接地保護。
02
高性能密閉微暗室有效屏蔽EMI
腔體采用導(dǎo)電的處理工藝,確保了各零件之間的導(dǎo)通狀態(tài)從而達到全屏蔽的效果,降低系統(tǒng)噪聲,有效屏蔽外界干擾,并提供低漏電流保護,為微弱電信號測試提供了最佳的測試環(huán)境;同時也注意零件配合以及裝配的同時,保證內(nèi)部的密封性。對于一些特殊的器件/晶圓需要在高低溫的情況進行環(huán)境的模擬測試,有效地避免了空氣中的水分在樣品上結(jié)露或者結(jié)霜的存在,通過氣流的特性,填充滿密封腔體內(nèi),使腔體里內(nèi)的氣體露點進行降低直至到一定的露點。
03
行業(yè)領(lǐng)先的3ZOOM?成像技術(shù)
內(nèi)置SEMISHARE專利顯微鏡3 ZOOM多視野、三倍率同焦光路系統(tǒng),光學(xué)120X–2000X變倍放大,大小多視場同時顯示,可使點針便捷操作,實現(xiàn)高穩(wěn)定性、高清晰度的精準定位圖像輸出和高精度的測量和動態(tài)監(jiān)控。
04
自主研發(fā)軟件集成系統(tǒng),兼容性更強
●支持半自動控制(可手動測試、自動測試)
●自動Wafer校準、自動Wafer mapping、自動Die size測量、自動Align、自動測試數(shù)據(jù)可遠程訪問
●一鍵自動校準RF探針模塊,自動清針功能
●一鍵式自適應(yīng)四軸Chuck精度校準,支持微米級Pad點測
●可支持單點測試或連續(xù)測試
● 強大的數(shù)據(jù)儲存能力以及數(shù)據(jù)處理能力
●可對測試結(jié)果進行BIN值劃分,判斷器件NG
●多系統(tǒng)集成功能,可獨立升級操作系統(tǒng)、應(yīng)用系統(tǒng)和器件測試系統(tǒng)
05
營銷網(wǎng)絡(luò)覆蓋全國,快速響應(yīng)客戶需求
SEMISHARE先后在深圳、香港、北京、上海、西安等城市設(shè)立了營銷服務(wù)網(wǎng)絡(luò),并通過專業(yè)FAE技術(shù)團隊,7*24h響應(yīng)客戶。
現(xiàn)場支持:
1)深圳市內(nèi)客戶,售后服務(wù)人員將在4小時內(nèi)趕到客戶現(xiàn)場
2)廣東省內(nèi)客戶,售后服務(wù)人員將在24小時之內(nèi)趕到客戶現(xiàn)場
3)廣東省外客戶,售后服務(wù)人員將在48小時之內(nèi)趕到客戶現(xiàn)場
與跨國公司相比,SEMISHARE更具本土化企業(yè)的服務(wù)優(yōu)勢,能夠直達終端客戶。覆蓋全網(wǎng)的技術(shù)、售后和銷售團隊,可負責終端客戶拓展、客戶培訓(xùn)、產(chǎn)品需求定制、售后維修等事宜,能夠更高效地服務(wù)客戶。我們關(guān)注市場,更關(guān)注每一位客戶的需求,力求保障客戶的時間和投入產(chǎn)出最大化。
(圖為客戶訂購半自動晶圓探針臺,裝機、調(diào)試、驗收3天內(nèi)完成)
未來隨著國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)進入密集建設(shè)期,國內(nèi)企業(yè)在國家政策和市場需求推動下加大研發(fā),我國有望加快集成電路國產(chǎn)化集成,逐步實現(xiàn)從低端向高端替代,從而減少對集成電路進口,打破國外高依賴的局面。
SEMISHARE從創(chuàng)立之初,就已將“中國芯·騰飛夢-助力中國制造自主領(lǐng)先的芯片,推動全球半導(dǎo)體行業(yè)的整體發(fā)展”作為使命,根植于企業(yè)的DNA,堅持自主技術(shù)的研發(fā)創(chuàng)新,旨在促進半導(dǎo)體測試設(shè)備國產(chǎn)化的發(fā)展。未來將不忘初心,奮力前行,半導(dǎo)體國產(chǎn)化不再是理想化的構(gòu)想,而是我們這代人可以預(yù)見的未來!