6月27日，全球最大的國際半導(dǎo)體展SEMICON China 2020在上海新國際博覽中心如期盛大開幕。

SEMISAHRE攜旗下三款SCG系列高低溫真空探針臺、SH系列高配置分析探針臺、SX系列半自動量產(chǎn)型探針臺精彩亮相展會，為大家現(xiàn)場分享半導(dǎo)體的先進測試技術(shù)與產(chǎn)品應(yīng)用，一起體驗高端科技帶來的震撼體驗。

展位現(xiàn)場吸引了眾多專業(yè)觀眾前來咨詢體驗，大家對SEMISAHRE的探針臺測試設(shè)備充滿了興趣和期待，并給予了高度的認可與進一步的合作意向。

SEMISHARE全球先進的測試技術(shù)  助力芯片產(chǎn)業(yè)加速發(fā)展

■ SCG系列高低溫真空探針臺

產(chǎn)品亮點：

?溫控范圍：77K-770K,溫度穩(wěn)定性優(yōu)于±0.1K ，溫控器分辨率為0.1℃，傳感器任一區(qū)段誤差為0.5%；

?X-Y-Z三方向移動，行程均為25mm，定位精度10μm；

?探針漂移量<±60nm/30mins；

?光學(xué)顯微20倍目鏡及0.8-5倍物鏡變焦倍率，16X-100X放大倍率；

?漏率優(yōu)于1.3x10-10Pa.m3/s 極限真空到10-4Pa（當使用分子泵時）；

?漏電精度達100FA；

?液氮罐可調(diào)節(jié)壓力，制冷系統(tǒng)調(diào)節(jié)精密針閥，自動控制流量，自動控溫；

?空氣彈簧式支撐架防震系統(tǒng)，有效避免細微低頻率頻帶振動帶來的測試影響；

應(yīng)用方向：高低溫真空環(huán)境下的芯片測試、LD/LED/PD測試、光纖光譜特性測試、材料/器件的IV/CV特性測試、霍爾測試、電磁輸運特性、高頻特性測試等

客戶對象：科研教育院校/研究所公司實驗室

■ SH系列高配置分析探針臺

產(chǎn)品亮點：

?大手柄同軸驅(qū)動CHUCK，移動精度高；

?顯微鏡X-Y無后座力移動；

?20~4000X光學(xué)顯微鏡放大，快速傾仰30度 ；

?漏電精度達100FA（配置屏蔽箱時）；

?可使用探針卡測試；

?針座平臺可快速升降和微調(diào)，快速芯片測試；

應(yīng)用方向：晶圓、LD/LED/PD測試、 PCB/封裝器件測試、芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測試、射頻、高頻、高壓/大電流測試等

客戶對象：科研教育院校/研究所公司實驗室

■ SX系列半自動量產(chǎn)型探針臺

產(chǎn)品亮點：

?CHUCK機械運動系統(tǒng)精度與速度行業(yè)最高：運行速度>70mm/s，精度≤1μm；

?Chuck手動上片及校準，清針模塊；

?可-60℃～300℃變溫，溫度精度和穩(wěn)定性均優(yōu)于0.1℃；

?三倍率同焦顯微鏡系統(tǒng)及側(cè)邊顯微鏡，光學(xué)放大倍率為：0.6*5X；2.5*5X；9*5X；

?超高測試精度及效率Index time≤500ms;

?低噪聲≤50dB；

?自動Wafer align，自動die size測量，自動wafer mapping；

?一鍵式自適應(yīng)四軸Chuck精度校準，支持微米級pad點測；

?自動溫度補償功能，便捷的系統(tǒng)集成功能；

應(yīng)用方向：各類器件、Wafer等進行I-V、C-V、光信號、RF、1/f噪聲等特性分析、射頻測試、大功率晶圓測試等

客戶對象：科研教育院校/研究所實驗室/芯片設(shè)計公司

以技術(shù)創(chuàng)享未來，助力芯片產(chǎn)業(yè)加速發(fā)展，森美協(xié)爾將一如既往，立足中國，面向全球，持續(xù)為更多的合作伙伴提供先進的晶圓探針臺測試測量設(shè)備與技術(shù)解決方案，成為更多行業(yè)客戶值得信賴的合作伙伴。