助力中國芯視界 設(shè)備成功交付
5月9日，由SEMISHARE自主研發(fā)精工打造的Flex系列OLED全自動(dòng)激光修復(fù)設(shè)備在森美協(xié)爾深圳總部總裝完成，并成功交付面板廠商客戶使用。森美協(xié)爾依托在探針臺(tái)/激光修復(fù)設(shè)備領(lǐng)域的核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)，以客戶為中心，不斷技術(shù)創(chuàng)新，持續(xù)優(yōu)化升級(jí)產(chǎn)品功能與性能，自主研發(fā)打造OLED多功能全自動(dòng)激光修復(fù)設(shè)備，全面助力中國智造“芯視界”。
聚焦技術(shù)創(chuàng)新 自主研發(fā)精工打造
SEMISHARE Flex系列OLED全自動(dòng)激光修復(fù)設(shè)備主要是對(duì)Panel形態(tài)/模組形態(tài)的產(chǎn)品（硬板/柔性）進(jìn)行亮點(diǎn)的激光修復(fù)，并實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，人工稍微干預(yù)的一款激光應(yīng)用設(shè)備。該設(shè)備精度高、性能優(yōu)、功能強(qiáng)大、反應(yīng)快速，使用操作便捷、結(jié)構(gòu)緊湊、布局合理、運(yùn)行穩(wěn)定可靠；設(shè)備采用Stage-A,Stage-B雙工位分時(shí)交替操作結(jié)構(gòu)，合理利用了人工復(fù)判的時(shí)間，大大提高了整個(gè)機(jī)器的修復(fù)效率。
1、自動(dòng)上下料，4軸機(jī)械手，搭配XY運(yùn)動(dòng)單軸，模組實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的轉(zhuǎn)移在載物臺(tái)，精度≤0.1mm，最大速度≤500mm/s；
2、載物臺(tái)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用直線電機(jī)與光柵尺，實(shí)現(xiàn)XY軸方向運(yùn)動(dòng)重復(fù)精度≤0.003mm，最大速度≤600mm/s
3、樣品自動(dòng)聚焦顯微鏡，XY小行程高精度平臺(tái)，精度≤0.001mm，最大速度≤100mm/s；
4、Panel形態(tài)采用點(diǎn)燈Block機(jī)構(gòu)，模組形態(tài)Jig機(jī)構(gòu)，點(diǎn)亮人工干預(yù)位置，安全光幕，人工干預(yù)，安全光幕信號(hào)提供運(yùn)動(dòng)停止保護(hù)；
5、XY軸帶動(dòng)載物臺(tái)移置激光修復(fù)位置，軟件通過VCR讀碼，在上位機(jī)AOI取得缺陷坐標(biāo)數(shù)據(jù)，進(jìn)行激光修復(fù)；光學(xué)系統(tǒng)顯微鏡WDI自動(dòng)聚焦，激光納秒（ESI等）；
6、修復(fù)人工復(fù)判位置，激光修復(fù)完畢，對(duì)于修復(fù)產(chǎn)品進(jìn)行人工復(fù)判，歸納NG/ok
02 設(shè)備亮點(diǎn)
CCD采集和圖像自動(dòng)校準(zhǔn)
實(shí)時(shí)自動(dòng)聚焦
AOI 圖像自動(dòng)識(shí)別
自動(dòng)上下料
運(yùn)動(dòng)精度±1um
定位精度≤±5um
激光掃描精度≤±0.2um
Slit精度≤±1um
自動(dòng)聚焦物鏡切換中心偏移≤±1um
突破進(jìn)取 助力中國智造中國芯?未來夢(mèng)
森美協(xié)爾秉承追求卓越，精益求精的企業(yè)精神，團(tuán)隊(duì)日以繼夜孜孜不倦，攻堅(jiān)克難，確保產(chǎn)品以最優(yōu)的性能與品質(zhì)，按時(shí)交付于客戶使用，助力面板廠商提升產(chǎn)品修復(fù)效率，提高產(chǎn)品良率和品質(zhì)。
SEMISHARE團(tuán)隊(duì)在調(diào)試設(shè)備中
以技術(shù)創(chuàng)新為驅(qū)動(dòng)，森美協(xié)爾聚焦半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，不斷突破進(jìn)取，自主研發(fā)打造晶圓探針臺(tái)與激光修復(fù)設(shè)備兩大產(chǎn)品版塊，為客戶提供全方位的產(chǎn)品技術(shù)解決方案，助力中國智造中國芯?未來夢(mèng)。