掩膜版Mask LCVD Repair LD14
產(chǎn)品概要
掩膜版LCVD修復(fù)設(shè)備主要是使用激光誘導(dǎo)化學(xué)氣相沉積（LCVD）技術(shù)來修復(fù)掩膜版上的缺陷。SEMISHARE LD14系列，沉積厚度范圍廣，修補(bǔ)精度高，亞微米級激光精度能夠有效應(yīng)對極小間距掩膜版，能為高價值掩膜版mask缺陷提供高精度修復(fù)解決方案，更大程度的節(jié)約企業(yè)的生產(chǎn)制造成本。
基本信息
| 產(chǎn)品型號 | LD14 | 工作環(huán)境 | 封閉式 |
| 電力需求 | AC 220V ±5% 50Hz | 操控方式 | 全自動 |
| 產(chǎn)品尺寸 | 可定制 | 設(shè)備重量 | 可定制 |
應(yīng)用方向
可以用來填補(bǔ)掩膜版上的缺失部分或修復(fù)圖案。這種技術(shù)通常用于修復(fù)線路開路和短路等問題。
技術(shù)特點
掩膜版 Mask LCVD Repair LD14
●對不同厚度且跨度較大的產(chǎn)品，更換產(chǎn)品時，無需手動調(diào)整，設(shè)備能夠自動適應(yīng)沉積頭高度調(diào)整。
●廢氣回收處理，高達(dá)數(shù)十層的高溫濾網(wǎng)，能夠充分?jǐn)r截分解廢氣中的有害成分，并經(jīng)冷卻后匯入至廠內(nèi)廢氣管路。
●能夠根據(jù)客戶需求，提供定制化產(chǎn)品。
