全自動(dòng)四探針方塊電阻測(cè)試系統(tǒng)
產(chǎn)品概要
四探針方塊電阻測(cè)試系統(tǒng)是一種高精度的測(cè)量設(shè)備，具備可靠性好、操作簡(jiǎn)便等優(yōu)點(diǎn)，對(duì)于微電子器件的設(shè)計(jì)、生產(chǎn)和質(zhì)量控制具有重要意義。
基本信息
| 產(chǎn)品型號(hào) | SR8/SR12 | 工作環(huán)境 | 常高溫，屏蔽 |
| 電力需求 | / | 操控方式 | 全自動(dòng) |
| 產(chǎn)品尺寸 | 可定制 | 設(shè)備重量 | 可定制 |
應(yīng)用方向
半導(dǎo)體材料、太陽能電池材料（硅、多晶硅、碳化硅等）、新材料、功能材料（碳納米管、DLC、石墨烯、銀納米線等）、導(dǎo)電薄膜（金屬、ITO等）、硅相關(guān)薄膜(LTPS等）、擴(kuò)散層測(cè)試、其他（*詳情請(qǐng)與我們聯(lián)系）
技術(shù)特點(diǎn)
技術(shù)特點(diǎn)
●SR8兼容6/8寸晶圓，SR12兼容8/12寸晶圓
●按照產(chǎn)線全自動(dòng)量測(cè)性能設(shè)計(jì)，測(cè)試效率高
●單/雙探頭配置，適合不同應(yīng)用場(chǎng)景
●可選配SECS/GEM廠務(wù)通訊協(xié)議
●符合ASTM and JIS 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
