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產(chǎn)品
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探針臺(tái)
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產(chǎn)品概況 功能結(jié)構(gòu) 規(guī)格參數(shù) 資料下載 視頻

E系列增強(qiáng)型手動(dòng)探針臺(tái)

產(chǎn)品概要

E 系列是一款功能進(jìn)階級(jí)探針臺(tái),能實(shí)現(xiàn) 1μm 以上的電極 Pad 測試,工效學(xué)設(shè)計(jì)簡單易操作,靈活的UPStart? 模塊化設(shè)計(jì),客戶可通過最低的成本升級(jí)更多的測試功能,如:毫米波 mmW,F(xiàn)A、MEMS、WLR 和光電等測試。

基本信息

產(chǎn)品型號(hào) E4/E6/E8/E12 工作環(huán)境 開放式
電力需求 220V,50~60Hz 操控方式 手動(dòng)探針臺(tái)
產(chǎn)品尺寸 680mm長*670mm寬*760mm高 設(shè)備重量 約95KG

應(yīng)用方向

LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長測試、晶圓二極管、三極管測試、PCB元器件測試、材料/器件的IV/CV特性測試、、功率器件測試、MEMS器件測試、射頻測試等

技術(shù)特點(diǎn)

POMater? 自適應(yīng)隔震底座

自適應(yīng)減震底座設(shè)計(jì),德國進(jìn)口隔震材料增強(qiáng)彈性支撐,實(shí)現(xiàn)不同程度的剛性硬度和承載范圍,并有效過濾環(huán)境中的震動(dòng)源干擾,確保探針末端和樣品的Pad穩(wěn)定接觸,提升測試的穩(wěn)定性

卡盤可升降調(diào)節(jié)

卡盤可微調(diào)升降,行程 5mm,精度 10μm,便于樣品快速分離探針。

顯微鏡氣動(dòng)式快速升降

顯微鏡氣動(dòng)式快速升降,便于更換顯微鏡和探針卡夾具。

大尺寸機(jī)臺(tái)設(shè)計(jì)

大尺寸機(jī)身結(jié)構(gòu),增強(qiáng)操作舒適度。更大空間的針座平臺(tái),支持 加載針卡,提升點(diǎn)針測試效率。

機(jī)臺(tái)定制應(yīng)用案例

1、石英樣品臺(tái)6英寸,玻璃樣品臺(tái)卡在不銹鋼上,不銹鋼卡盤通過立柱固定在X-Y平移臺(tái)上部 2、玻璃樣品臺(tái)采用高透紫外線玻璃,透光波長單位200nm-1100nm透光率85%以上,樣品固定方式采用彈片固定 3、兩個(gè)樣品臺(tái)可以拆卸使用

E系列增強(qiáng)型手動(dòng)探針臺(tái)

型號(hào)

E4

E6

E8

E12

外形(長*寬*高/mm

680*670*760mm

680*670*760mm

750*670*800mm

1030*800*850mm

重量(KG)

約90kg

約95kg

約110kg

約210kg

電力需求

220VC,50~60Hz

卡盤

常溫標(biāo)準(zhǔn)

卡盤尺寸

4"

6"

8"

12"

樣品固定方式

環(huán)形真空吸附(可定制多孔吸附)

背電極測試功能

有,樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空

卡盤材質(zhì)

不銹鋼/銅鍍鎳或鍍金


卡盤

移動(dòng)平臺(tái)

Theta行程

360°旋轉(zhuǎn)(粗調(diào));微調(diào)范圍±8°,微調(diào)精度0.002°

卡盤升降

卡盤臺(tái)可以上下快速升降5mm,微調(diào)升降行程6mm,精度1μm

X-Y行程

100*100mm

150*150mm

200*200mm

250*250mm

移動(dòng)精度

10μm

卡盤快速拉出

N/A

控制方式

小型旋鈕驅(qū)動(dòng)

針座平臺(tái)

外形尺寸

長550mm*寬405mm

長720mm*寬405mm

長980mm*寬480mm

卡盤到平臺(tái)距離

8mm(卡盤上表面與針座平臺(tái)下表面)

針座數(shù)量

最多可放6個(gè)針座

最多可放8個(gè)針座

最多可放10個(gè)針座

針座平臺(tái)升降

N/A

針座定位方式

磁力吸附或真空吸附

光學(xué)特性

鏡頭規(guī)格

標(biāo)配PSM-1000金相顯微鏡/可選(GX-6金相,體視,視頻)顯微鏡

放大倍數(shù)

20-2000X

CCD像素

3種CCD可選:200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字)/650W(數(shù)字)

運(yùn)動(dòng)控制

Z 軸移動(dòng)行程 50.8 mm,同軸旋鈕調(diào)節(jié),細(xì)調(diào)精度優(yōu)于1μm

顯微鏡行程

顯微鏡2英寸XY平移臺(tái)范圍內(nèi)移動(dòng)

顯微鏡移動(dòng)精度

1μm

點(diǎn)針規(guī)格

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm

機(jī)械精度

10μm/2μm/0.7μm

漏電精度

同軸1pA/V @25℃;三軸100fA/V @25℃; 三軸10pA@3kv @25°C,
測試條件:接地屏蔽的干燥環(huán)境(空氣露點(diǎn)低于-40°C)


接口形式

香蕉頭/鱷魚夾/同軸/三軸接口





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