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LCVD激光修復(fù)機(jī)
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型號
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LCVD-G6
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LCVD-G8.5
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外形
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2,850mm(寬)x2,500mm(長)x2,500 mm(高)
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4,000mm(寬)x3,500mm(長)x2,500 mm(高)
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重量
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約7500公斤
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約10500公斤
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電力需求
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380V，50Hz, 3Phase, approx. 40A Max
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380V，50Hz, 3Phase, approx.60A Max
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可修復(fù)產(chǎn)品尺寸
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長寬≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm
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長寬≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm
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修復(fù)能力
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沉積材質(zhì)
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W,Cr,Mo,Al
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激光特性
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激光系統(tǒng)
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DPSS激光切割系統(tǒng)
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沉積線路速度
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5~10um/s(厚度5000 ?)
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CW激光沉積系統(tǒng)
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單處缺陷修復(fù)時(shí)長
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定位后，修復(fù)單處缺陷時(shí)間在5s左右
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能量調(diào)節(jié)精度
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0-1000 steps
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工藝參數(shù)
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軟件可以添加任意組工藝參數(shù)
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0-100%
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Cutting寬度
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2um到50um可調(diào)
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Slit 窗口調(diào)節(jié)大小
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0~2.4mm
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沉積寬度
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3um到30um可調(diào)
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Slit 窗口控制精度
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1um
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沉積邊緣精度
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+-0.5um
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激光能量校準(zhǔn)方式
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自動(dòng)校準(zhǔn)
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沉積厚度
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2000 ? ~15000?可調(diào)
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校準(zhǔn)時(shí)間
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3mins
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沉積線路的電阻值
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<65歐姆 (寬度5um, 長度50um,厚度5000 ?)
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激光能量校準(zhǔn)精度
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優(yōu)于2%
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沉積穩(wěn)定性
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1.清洗機(jī)清洗次數(shù)>10 times
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激光波長
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Cut Laser :IR 1064nm，GRN 532nm，UV 266nm
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2.棉簽蘸丙酮擦拭>500次
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CVD CW laser :NUV/UV
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3.強(qiáng)酸堿測試>1H
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脈寬
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< 12 ns
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3.毛刷擦拭>1H
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光斑尺度
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2.0~ @50X object 1064nm (在標(biāo)準(zhǔn)mask上測試)
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4.超聲波1MHZ>1H
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掃描面能量均勻性
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優(yōu)于5% IR
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平臺功能
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Gantry結(jié)構(gòu)
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龍門式
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激光壽命
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Cut Laser:10億次激發(fā)
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X-Y-Z運(yùn)動(dòng)行程
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LCVD-G6 1500 *1850*58mm(X-Y-Z)
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CVD CW laser: 8000小時(shí)
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LCVD-G8.5 2500 *2200*58mm(X-Y-Z)
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修復(fù)工作模式
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Scan掃描式和 Step模式
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X-Y運(yùn)動(dòng)速度
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0~400mm/s可調(diào)
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掃描路徑
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可任意定義路徑
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精度(最小移動(dòng)量)
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0.1um
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控制
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工作模式
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自動(dòng)修復(fù)，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的自動(dòng)導(dǎo)入和輸出，聯(lián)機(jī)通訊手動(dòng)或者半自動(dòng)修復(fù)
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Z 運(yùn)動(dòng)速度
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0~2mm/s可調(diào)
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精度(最小移動(dòng)量)
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0.1um
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上下片
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機(jī)械手或者流水線
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重復(fù)定位精度
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+-5um
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CIM系統(tǒng)
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有
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修復(fù)對位精度
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0.1um
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減震
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主動(dòng)式減震系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)50X 物鏡下畫面不抖動(dòng)
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光學(xué)特性
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光路系統(tǒng)倍率：
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50X~ 1000X
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5X ,10X ,20X , 50X NIR, 50X UV,50X NUV Objects
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工業(yè)PC
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23寸顯示器&電腦：i7 處理器，1TB硬盤2塊(其中一塊為備份硬盤)，8G內(nèi)存，1G獨(dú)立顯卡，DVD-ROM
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光學(xué)分辨率
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0.7um
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物鏡切換速度
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0.2~0.7s
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通訊接口
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RS232/EtherCAT/GPIB等
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切換鏡頭偏差
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小于3um
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安全
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整機(jī)帶屏蔽罩，操作人員在屏蔽罩外操作
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聚焦
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激光自動(dòng)聚焦
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緊急開關(guān)EMO
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相機(jī)
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200萬像素
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限位sensor，運(yùn)動(dòng)平臺和激光系統(tǒng)限位互鎖
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照明
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平臺有下光源，并且能夠上下光源切換，屏蔽罩內(nèi)安裝照明，照度達(dá)到1000lux以上。
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Interlock報(bào)警，自動(dòng)關(guān)閉系統(tǒng)(軟件設(shè)置為可選)
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應(yīng)用方向
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TFT-LCD 和 OLED Array Panel 布線開路和短路的修復(fù),Mask 的缺陷修復(fù)
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特點(diǎn)：
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穩(wěn)定的修復(fù)結(jié)果
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功能豐富的軟件
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超高的修復(fù)精度
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可以編輯修復(fù)形狀
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0.1um精度的直線電機(jī)平臺
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自動(dòng)AOI定位
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極小的損傷
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可做多工位設(shè)計(jì)
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1um的激光精度
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自動(dòng)上下片
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