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激光修復(fù)機(jī)
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型號
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LCD-70
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LCD-55
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LCD-20
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尺寸
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2000mm長*1500mm寬
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1500mm長*1300mm寬
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1200mm長*800mm寬
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*2000mm高
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*1500mm高
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*1500mm高
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重量
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約2000KG
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約1200KG
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約120KG
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電力需求
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220V,50~60Hz
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樣品臺
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大小
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1600mm*1000mm
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650mm*550mm
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500mm*320mm
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樣品臺X-Y行程
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樣品臺固定
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樣品臺固定
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樣品臺X-Y行程8*8英寸
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樣品固定方式
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自然放置
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自然放置
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自然放置
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光源
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面背光、點(diǎn)背光、上光源
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面背光、點(diǎn)背光、上光源
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面背光、上光源
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顯微鏡特性
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行程
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1600mm*1000mm*50mm
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650mm*550mm*50mm
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鏡體固定，Z軸行程50mm
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CCD像素
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50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）
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目鏡
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10X目鏡
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10X目鏡
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10X目鏡
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物鏡
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配置物鏡：5X,10X,20X,50X,100X(選配)
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配置物鏡：
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配置物鏡：
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5X,10X,20X,50X,100X(選配)
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5X,10X,20X,50X(選配),100X(選配)
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物鏡轉(zhuǎn)盤
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電動鼻輪
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手動/電動鼻輪
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手動鼻輪
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調(diào)焦
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聚焦模式:電動
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聚焦模式：手動或電動
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聚焦模式：手動
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激光特性
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波長
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波長可選：1064/532/355/266nm波段
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能量
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輸出功率2.2mJ/pulse
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微加工能力
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可加工材質(zhì)：Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN/CF內(nèi)雜質(zhì)等
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加工精度
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最小可加工精度1*1um（配置100X鏡頭時）
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冷卻方式
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可選擇風(fēng)冷激光或水冷激光
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控制系統(tǒng)
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結(jié)構(gòu)
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精密數(shù)控系統(tǒng)，采用高精度運(yùn)動控制卡和日本進(jìn)口伺服驅(qū)動系統(tǒng)和步進(jìn)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)3軸聯(lián)合運(yùn)動，實(shí)現(xiàn)X-Y平臺的任意曲線的運(yùn)動
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高精度研磨級絲杠傳動，精度1微米
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速度
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速度分4檔可調(diào)，可以設(shè)定最慢速度，最低速度下最小移動分辨率為1μm，最高速度不低于10cm/s
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手動調(diào)節(jié)
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軟件功能
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軟件系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)激光控制，光源控制，物鏡轉(zhuǎn)盤切換，電動聚焦，平臺控制，圖像調(diào)整等功能。
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PLC，搖桿電機(jī)控制
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手動控制
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可實(shí)現(xiàn)圖像點(diǎn)擊移動，自定義軌跡，坐標(biāo)儲存，存儲坐標(biāo)定位，手動坐標(biāo)定位，移動鼠標(biāo)尋跡等功能。
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速度可以通過軟件設(shè)定，鼠標(biāo)移動的距離控制。
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防震
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獨(dú)立進(jìn)口氣浮防震平臺
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可選附件
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手動控制盒
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維修專用補(bǔ)償鏡頭
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維修專用補(bǔ)償鏡頭
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維修專用補(bǔ)償鏡頭
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特殊定制
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特殊定制
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特殊定制
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運(yùn)用方向
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70寸以內(nèi)面板生產(chǎn)工藝不良和缺陷的修復(fù)，亮點(diǎn)、亮線、顯示異常等故障修復(fù)
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55寸以內(nèi)面板生產(chǎn)工藝不良和缺陷的修復(fù)，亮點(diǎn)、亮線、顯示異常等故障修復(fù)
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20寸以內(nèi)面板生產(chǎn)工藝不良和缺陷的修復(fù)，亮點(diǎn)、亮線、顯示異常等故障修復(fù)（Oled/LCD，手機(jī)，數(shù)碼）
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特點(diǎn)
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穩(wěn)定的修復(fù)結(jié)果
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面板生產(chǎn)工藝缺陷/不良修復(fù)
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超快的修復(fù)速度
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亮點(diǎn)/亮線/暗線/十字線等故障修復(fù)
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高精度控制平臺
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可選擇激光去除特定材料而不損傷下層
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便捷的操控軟件
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最小可加工精度1*1um
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極小的損傷
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可升級用于120英寸以內(nèi)樣品測試
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