隨著我國半導體產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展,國內(nèi)多個12寸晶圓廠的建立,快速激增了晶圓探針臺設備的市場需求,晶圓探針臺是半導體制造中WAT/CP測試環(huán)節(jié)的重要設備之一,主要用于對晶圓進行電性和光效參數(shù)測試,通過測試篩選控制芯片的良率,從而為芯片生產(chǎn)提質(zhì)增效;
由于探針臺技術(shù)門檻高,研發(fā)周期長且投入成本大,目前全球高端探針臺市場仍主要被日韓等國所占據(jù);近年來在國家對半導體產(chǎn)業(yè)的大力扶持下,國產(chǎn)化技術(shù)的發(fā)展進程不斷加快,中國半導體設備企業(yè)將加速迎來國產(chǎn)替代的機會,在國內(nèi)半導體設備市場中,探針臺是我國目前最有希望能實現(xiàn)高國產(chǎn)化率的設備。
借助于機械探針臺領(lǐng)域多年的技術(shù)經(jīng)驗,SEMISHARE科技早在2016年就展開了對全自動晶圓探針臺項目的研發(fā);公司先后在2019年、2020年接受了投資機構(gòu)的A、B輪融資,并逐步開始布局工業(yè)級晶圓探針臺領(lǐng)域市場。據(jù)SEMISHARE相關(guān)負責人消息,公司將計劃2021年3月正式在國內(nèi)推出首款晶圓級A12全自動探針臺,并在上海SEMICON展會上進行首展(展位:N3館3487),屆時讓我們親臨展會現(xiàn)場體驗……
晶圓級探針臺不同于LED領(lǐng)域應用型探針臺,其設備要求的技術(shù)性能更為嚴苛,主要體現(xiàn)在測試精度,自動化程度、精密控制等方面。此次SEMISHARE公司推出的A12探針臺在(晶圓自動上下片裝載輸送、微米級全閉環(huán)運動控制、Wafer自動精準對針、視覺自動精確校準、高速反饋通信、數(shù)據(jù)信息處理)等方面做出了創(chuàng)新性的技術(shù)改進,該設備提供一種全自動晶圓級針測技術(shù)( 發(fā)明專利:201910551106.3),是一款向下兼容處理12"/8"標準晶圓的WAT/CP測試設備,能為不同客戶提供一個經(jīng)濟且穩(wěn)定優(yōu)異的晶圓測試方案。
A12探針臺可提供支持高低溫測試,設備采用采德國ERS公司的AC3 300mm 最新氣冷高低控溫卡盤系統(tǒng),在兼具了寬泛的高低溫度選項(-65℃到300℃)的同時,溫度的均勻性可穩(wěn)定在<+/- 0.1℃。
SEMISHARE科技A12全自動探針臺的推出,將持續(xù)為中國半導體高端設備產(chǎn)業(yè)發(fā)展助力!未來,隨著國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)進入密集建設期,5G、汽車電子、智慧家居等終端應用持續(xù)攀升,將不斷刺激對半導體市場的日漸增長,進而推動探針臺需求的增加。在需求增長的同時,國內(nèi)企業(yè)在國家政策以及在市場的推動下將更注重研發(fā)投入,通過不斷提升國產(chǎn)設備的技術(shù)性能與質(zhì)量,以此逐步實現(xiàn)國產(chǎn)探針臺的自給能力。