SEMISHARE在2016年啟動(dòng)了對(duì)全自動(dòng)晶圓探針臺(tái)項(xiàng)目的研發(fā),并逐步開始布局工業(yè)級(jí)晶圓探針臺(tái)領(lǐng)域市場(chǎng)，經(jīng)過不斷的技術(shù)迭代更新，A12全自動(dòng)探針臺(tái)已擁有同步國(guó)外的先進(jìn)技術(shù)，低噪聲，快速移動(dòng)，高產(chǎn)能，采用缺口和晶圓ID同步識(shí)別，減少了晶圓的加載時(shí)間；高強(qiáng)度低重心設(shè)計(jì)，支持高針數(shù)探針卡，卡盤最大承載能力可達(dá)200KG；且價(jià)格更合理，本土化服務(wù)網(wǎng)絡(luò)及遍布全球的海外代理，從技術(shù)、服務(wù)、價(jià)格3大版塊全方位提升競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。

A12是一款12寸（兼容8寸）的高性能晶圓測(cè)試探針臺(tái),設(shè)備可與不同類型的ATE測(cè)試機(jī)組合使用，通過讓探針卡與晶圓之間精準(zhǔn)接觸，實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)測(cè)試，該設(shè)備操作簡(jiǎn)單并具有良好的機(jī)械穩(wěn)定性,能為客戶提供一個(gè)低成本且高產(chǎn)出的晶圓測(cè)試解決方案，滿足晶圓廠、封測(cè)廠等不同客戶的測(cè)試需求。

創(chuàng)新性的A12探針臺(tái)在晶圓自動(dòng)上下片裝載輸送、微米級(jí)全閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制、Wafer自動(dòng)精準(zhǔn)對(duì)針、視覺自動(dòng)精確校準(zhǔn)、高速反饋通信、數(shù)據(jù)信息處理等技術(shù)方面作出了全新升級(jí)改進(jìn)，設(shè)備采用了一種高穩(wěn)定的晶圓探針測(cè)試技術(shù)。

外觀設(shè)計(jì)風(fēng)格專業(yè)、大氣，通過嚴(yán)謹(jǐn)?shù)谋壤O(shè)計(jì)規(guī)劃功能區(qū)域，塑造視覺層次關(guān)系，以科技力量為核心，優(yōu)化體驗(yàn)，同時(shí)造型元素取自芯片外形特征點(diǎn)綴其中，極簡(jiǎn)又不失巧思，兼具先進(jìn)功能和設(shè)計(jì)美感。

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（1）裝載Cassette

 采用多重傳感器進(jìn)行識(shí)別，確保安全方便；同時(shí)兼容8〞 12〞 標(biāo)準(zhǔn)的Cassette

（2）Wafer移載手臂

 該機(jī)構(gòu)主要是對(duì)Wafer進(jìn)行搬運(yùn)到Prober，包含取料，獲取尺寸，讀取Wafer ID , Wafer flat的識(shí)別，Wafer預(yù)對(duì)位等功能

（3）專用托盤機(jī)構(gòu)

 該組件機(jī)構(gòu)主要是針對(duì)一些特殊情況下的應(yīng)用。承載Clean Wafer ，無法識(shí)別的Wafer，存在疑問的Wafer等異常情況下的專用托盤

（4）Robot電氣單元

  該位置主要是放置Robot控制單元的電氣組件，包含真空，CDA，電源輸入，保險(xiǎn)，Robot運(yùn)動(dòng)等控制模塊。

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