近日，SEMISHARE研發(fā)生產(chǎn)的CG-C-2真空高低溫閉循環(huán)探針臺和H6綜合型探針臺，已貨運至新加坡，安裝調(diào)試完畢，交付于新加坡國立大學微電子學院使用。
SEMISHARE CG系列真空高低溫探針臺主要是為教育科研機構(gòu)開發(fā)的測試測量設備，可為研究人員提供超高真空與高低溫轉(zhuǎn)換的測試環(huán)境，有開循環(huán)、閉循環(huán)兩種方式，采用閉循環(huán)方式則不依賴于消耗冷媒即可提供超低溫高真空的測試環(huán)境。主要應用領(lǐng)域為超低溫超導材料及器件研究、新型材料器件的超低溫IV/CV特性測試、霍爾測試、電磁輸運特性、以及高頻特性測試等。
真空高低溫探針臺是材料、半導體科研領(lǐng)域的主要測試設備中的重要組成部分。長期以來，由于其應用市場的過于細分且有較高的技術(shù)門檻，該類設備一直被國外企業(yè)所壟斷。SEMISHARE通過自身多年研發(fā)成果的積累及定向研發(fā)攻關(guān)，成功推出了國內(nèi)自主研發(fā)的真空高低溫探針臺（CG系列），該產(chǎn)品在國內(nèi)外市場都取得了不俗的成績。
迄今，SEMISHARE的營銷網(wǎng)絡已從中國延伸至全球并逐步形成了國際化的市場戰(zhàn)略布局，我們在意大利，英國，俄羅斯，以色列，新加坡等國家，贏得了眾多客戶的信賴，并和全球多家知名科研院校建立了密切的合作關(guān)系，行業(yè)影響力也正在不斷擴大。
SEMISHARE CG系列高低溫真空探針臺
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其溫度范圍可達：開循環(huán)（77K(LN2)/4.5K(LHe)-770K）,閉循環(huán)（7.5K-450K）溫度穩(wěn)定性優(yōu)于±100mK ，溫控器分辨率為0.1℃，傳感器任一區(qū)段誤差為0.5%；
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探針漂移量：＜±10μm/30mins；
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漏率優(yōu)于：1.3x10-10 Pa.m3/s 極限真空到5*10-4 Pa（配置250L/s分子泵）；
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漏電精度達100FA
（攝于新加坡國立大學微電子學院）
本次交付使用的CG-C-2真空高低溫閉循環(huán)探針臺，同時搭載了閉循環(huán)制冷機和控制機組。該制冷機在不消耗液氦和液氮的情況下提供超低溫環(huán)境（10K甚至更低），配合高精度控溫儀使用，可在整個工作范圍內(nèi)對樣品進行精確控溫，操作簡單，使用維護成本低。制冷機包括兩級冷臺，一級冷臺用于冷卻樣品周圍的防熱輻射屏，二級冷臺用于冷卻樣品。控制機組集成了分子泵、機械泵、顯示器、控制單元的集成控制機柜，操作維護方便，結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小。
卡盤極限低溫可達7.3K
（溫控工作臺運營過程照片，A通道為樣品臺溫度，B為屏蔽腔溫度，C為二級冷頭溫度，D為探針臂溫度）
此次交付使用的另一臺H6綜合型探針臺搭載的顯微鏡為我司自主研發(fā)的一款三倍率的顯微鏡，滿足了市場的實際需求：在圖像中能觀察到三種倍率的成像效果，無需進行鏡頭切換以及倍率的切換，同時3種倍率的呈現(xiàn)滿足晶圓以及實驗室中絕大多數(shù)的樣品，兼容性高，同時也提高了各個測試項的效率，為該設備增加一大亮點的特色。
SEMISHARE H系列探針臺具有優(yōu)異的機械系統(tǒng)、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、符合人機工程學，并具有很多升級功能。SEMISHARE研發(fā)的氣控式卡盤移動技術(shù)，可滿足客戶對整片晶圓高效測試的需求，機臺亦可加載探針卡測試。
如果您想了解更多關(guān)于我司探針臺產(chǎn)品的信息，歡迎聯(lián)系我們
展會預告
2022.6.29-7.1日，SEMISHARE將出席全球半導體產(chǎn)業(yè)（重慶）博覽會，地址：重慶國際博覽中心。我們的展位號：S1館-A22。
2022.7.5-7.7日，SEMISHARE將出席第四屆深圳國際半導體展，地址：深圳市國際會展中心（寶安新館）。我們的展位號：12號館，4A013。
期待您的蒞臨，和我們的工程師面對面交流、探討！
