以“芯”中有“算”· 智享未來為主題的SEMI-e第六屆深圳國際半導體技術暨應用展覽會(簡稱:SEMI-e),作為華南區(qū)極具影響力的半導體展,預計將吸引超過800余家企業(yè)參展,集中展示集成電路、電子元器件、第三代半導體及產業(yè)鏈材料和設備為一體的半導體產業(yè)鏈,展會為企業(yè)達成貿易合作和市場開發(fā)雙向賦能,加強生產研發(fā)銷售三端互動,為參會企業(yè)和觀眾深入洞悉半導體市場未來發(fā)展新風向提供服務和參考,為半導體產業(yè)鏈的升階發(fā)展搭建精準對接、雙向奔赴的平臺!
作為半導體檢測設備行業(yè)的佼佼者,森美協(xié)爾一直致力于為客戶提供高效、穩(wěn)定、可靠的晶圓檢測設備。此次受邀參展,我們將展示A12全自動晶圓探針臺、X8半自動晶圓探針臺、H8綜合型手動探針臺,期待與您共同探討前沿晶圓測試解決方案!
A系列全自動晶圓探針臺
● 可實現12/8/6寸晶圓的WAT和CP測試
● 微米級全閉環(huán)運動控制,實現高精度自動扎針
● -45到200°C(-55/60到300°C可選)快速控溫模式
● XY最大速度可達250mm/s,測試效率高
● 自研一體化hinge設計,可接受任意測試機對接
X系列半自動晶圓探針臺
● -60℃~300℃業(yè)界領先的快速控溫模式
● 可以接入任意測試單元(測試機、測試儀、源表)
● 7*24小時全天候在片探測,運行速度可達70mm/s,測試效率提升40%
● 高精度:絕對定位精度土2μm、重復定位精度土1μm、扎針精度+1.8μm
● 探針臺屏蔽系統(tǒng),為微弱電信號、超低噪聲測試提供出色環(huán)境
CG系列真空高低溫探針臺
● 可支持4.2K-473K溫度
● 防輻射屏設計,提高樣品溫度均勻與準確性
● 探針熱沉設計,保證精準落針
● 可升級加載磁場
● 靈活且可擴展的測試應用配置
● 自動冷媒流量控制,自動精準控溫
H系列綜合型手動探針臺
● 三段式可升降針座平臺,便于精確定位,快速分離樣針
● 標配金相顯微鏡,達到1μm以上的Pad測試
● 可搭載激光器進行FA失效分析/激光切割
● 氣控式卡盤移動技術,可快速拉出卡盤
展位指引