6月27日，全球最大的國(guó)際半導(dǎo)體展SEMICON China 2020在上海新國(guó)際博覽中心如期盛大開(kāi)幕。
SEMISAHRE攜旗下三款SCG系列高低溫真空探針臺(tái)、SH系列高配置分析探針臺(tái)、SX系列半自動(dòng)量產(chǎn)型探針臺(tái)精彩亮相展會(huì)，為大家現(xiàn)場(chǎng)分享半導(dǎo)體的先進(jìn)測(cè)試技術(shù)與產(chǎn)品應(yīng)用，一起體驗(yàn)高端科技帶來(lái)的震撼體驗(yàn)。
展位現(xiàn)場(chǎng)吸引了眾多專業(yè)觀眾前來(lái)咨詢體驗(yàn)，大家對(duì)SEMISAHRE的探針臺(tái)測(cè)試設(shè)備充滿了興趣和期待，并給予了高度的認(rèn)可與進(jìn)一步的合作意向。
SEMISHARE全球先進(jìn)的測(cè)試技術(shù) 助力芯片產(chǎn)業(yè)加速發(fā)展
■ SCG系列高低溫真空探針臺(tái)
產(chǎn)品亮點(diǎn)：
?溫控范圍：77K-770K,溫度穩(wěn)定性優(yōu)于±0.1K ，溫控器分辨率為0.1℃，傳感器任一區(qū)段誤差為0.5%；
?X-Y-Z三方向移動(dòng)，行程均為25mm，定位精度10μm；
?探針漂移量<±60nm/30mins；
?光學(xué)顯微20倍目鏡及0.8-5倍物鏡變焦倍率，16X-100X放大倍率；
?漏率優(yōu)于1.3x10-10Pa.m3/s 極限真空到10-4Pa（當(dāng)使用分子泵時(shí)）；
?漏電精度達(dá)100FA；
?液氮罐可調(diào)節(jié)壓力，制冷系統(tǒng)調(diào)節(jié)精密針閥，自動(dòng)控制流量，自動(dòng)控溫；
?空氣彈簧式支撐架防震系統(tǒng)，有效避免細(xì)微低頻率頻帶振動(dòng)帶來(lái)的測(cè)試影響；
應(yīng)用方向：高低溫真空環(huán)境下的芯片測(cè)試、LD/LED/PD測(cè)試、光纖光譜特性測(cè)試、材料/器件的IV/CV特性測(cè)試、霍爾測(cè)試、電磁輸運(yùn)特性、高頻特性測(cè)試等
客戶對(duì)象：科研教育院校/研究所公司實(shí)驗(yàn)室
■ SH系列高配置分析探針臺(tái)
產(chǎn)品亮點(diǎn)：
?大手柄同軸驅(qū)動(dòng)CHUCK，移動(dòng)精度高；
?顯微鏡X-Y無(wú)后座力移動(dòng)；
?20~4000X光學(xué)顯微鏡放大，快速傾仰30度 ；
?漏電精度達(dá)100FA（配置屏蔽箱時(shí)）；
?可使用探針卡測(cè)試；
?針座平臺(tái)可快速升降和微調(diào)，快速芯片測(cè)試；
應(yīng)用方向：晶圓、LD/LED/PD測(cè)試、 PCB/封裝器件測(cè)試、芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測(cè)試、射頻、高頻、高壓/大電流測(cè)試等
客戶對(duì)象：科研教育院校/研究所公司實(shí)驗(yàn)室
■ SX系列半自動(dòng)量產(chǎn)型探針臺(tái)
產(chǎn)品亮點(diǎn)：
?CHUCK機(jī)械運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)精度與速度行業(yè)最高：運(yùn)行速度>70mm/s，精度≤1μm；
?Chuck手動(dòng)上片及校準(zhǔn)，清針模塊；
?可-60℃～300℃變溫，溫度精度和穩(wěn)定性均優(yōu)于0.1℃；
?三倍率同焦顯微鏡系統(tǒng)及側(cè)邊顯微鏡，光學(xué)放大倍率為：0.6*5X；2.5*5X；9*5X；
?超高測(cè)試精度及效率Index time≤500ms;
?低噪聲≤50dB；
?自動(dòng)Wafer align，自動(dòng)die size測(cè)量，自動(dòng)wafer mapping；
?一鍵式自適應(yīng)四軸Chuck精度校準(zhǔn)，支持微米級(jí)pad點(diǎn)測(cè)；
?自動(dòng)溫度補(bǔ)償功能，便捷的系統(tǒng)集成功能；
應(yīng)用方向：各類(lèi)器件、Wafer等進(jìn)行I-V、C-V、光信號(hào)、RF、1/f噪聲等特性分析、射頻測(cè)試、大功率晶圓測(cè)試等
客戶對(duì)象：科研教育院校/研究所實(shí)驗(yàn)室/芯片設(shè)計(jì)公司
以技術(shù)創(chuàng)享未來(lái)，助力芯片產(chǎn)業(yè)加速發(fā)展，森美協(xié)爾將一如既往，立足中國(guó)，面向全球，持續(xù)為更多的合作伙伴提供先進(jìn)的晶圓探針臺(tái)測(cè)試測(cè)量設(shè)備與技術(shù)解決方案，成為更多行業(yè)客戶值得信賴的合作伙伴。