助力中國芯視界 設備成功交付
5月9日，由SEMISHARE自主研發(fā)精工打造的Flex系列OLED全自動激光修復設備在森美協(xié)爾深圳總部總裝完成，并成功交付面板廠商客戶使用。森美協(xié)爾依托在探針臺/激光修復設備領(lǐng)域的核心技術(shù)優(yōu)勢，以客戶為中心，不斷技術(shù)創(chuàng)新，持續(xù)優(yōu)化升級產(chǎn)品功能與性能，自主研發(fā)打造OLED多功能全自動激光修復設備，全面助力中國智造“芯視界”。
聚焦技術(shù)創(chuàng)新 自主研發(fā)精工打造
SEMISHARE Flex系列OLED全自動激光修復設備主要是對Panel形態(tài)/模組形態(tài)的產(chǎn)品（硬板/柔性）進行亮點的激光修復，并實現(xiàn)自動化，人工稍微干預的一款激光應用設備。該設備精度高、性能優(yōu)、功能強大、反應快速，使用操作便捷、結(jié)構(gòu)緊湊、布局合理、運行穩(wěn)定可靠；設備采用Stage-A,Stage-B雙工位分時交替操作結(jié)構(gòu)，合理利用了人工復判的時間，大大提高了整個機器的修復效率。
1、自動上下料，4軸機械手，搭配XY運動單軸，模組實現(xiàn)產(chǎn)品的轉(zhuǎn)移在載物臺，精度≤0.1mm，最大速度≤500mm/s；
2、載物臺運動機構(gòu)采用直線電機與光柵尺，實現(xiàn)XY軸方向運動重復精度≤0.003mm，最大速度≤600mm/s
3、樣品自動聚焦顯微鏡，XY小行程高精度平臺，精度≤0.001mm，最大速度≤100mm/s；
4、Panel形態(tài)采用點燈Block機構(gòu)，模組形態(tài)Jig機構(gòu)，點亮人工干預位置，安全光幕，人工干預，安全光幕信號提供運動停止保護；
5、XY軸帶動載物臺移置激光修復位置，軟件通過VCR讀碼，在上位機AOI取得缺陷坐標數(shù)據(jù)，進行激光修復；光學系統(tǒng)顯微鏡WDI自動聚焦，激光納秒（ESI等）；
6、修復人工復判位置，激光修復完畢，對于修復產(chǎn)品進行人工復判，歸納NG/ok
02 設備亮點
CCD采集和圖像自動校準
實時自動聚焦
AOI 圖像自動識別
自動上下料
運動精度±1um
定位精度≤±5um
激光掃描精度≤±0.2um
Slit精度≤±1um
自動聚焦物鏡切換中心偏移≤±1um
突破進取 助力中國智造中國芯?未來夢
森美協(xié)爾秉承追求卓越，精益求精的企業(yè)精神，團隊日以繼夜孜孜不倦，攻堅克難，確保產(chǎn)品以最優(yōu)的性能與品質(zhì)，按時交付于客戶使用，助力面板廠商提升產(chǎn)品修復效率，提高產(chǎn)品良率和品質(zhì)。
SEMISHARE團隊在調(diào)試設備中
以技術(shù)創(chuàng)新為驅(qū)動，森美協(xié)爾聚焦半導體檢測設備領(lǐng)域，不斷突破進取，自主研發(fā)打造晶圓探針臺與激光修復設備兩大產(chǎn)品版塊，為客戶提供全方位的產(chǎn)品技術(shù)解決方案，助力中國智造中國芯?未來夢。