助力行業(yè)客戶量測技術應用，森美協爾先進探針臺測試應用解決方案已廣泛應用于半導體測試測量領域，以創(chuàng)新先進的晶圓探針臺技術、優(yōu)質的產品質量和服務為業(yè)內廣大客戶提供先進的探針臺解決方案，助力行業(yè)客戶測試測量技術應用，有效提質增效，多年來森美協爾深得客戶信賴。
先進探針臺解決方案 助力客戶量測技術應用
01 高校教育實驗室解決方案
■測試對象：
4inch/6inch晶圓i-v ，c-v曲線，P-iv 測試
■設備配置：
SEMISHARE SM-6 晶圓探針臺(16-100X光學放大)+SEMISHARE SS-40探針座*4(10微米精度)+keithley 2400 測量源表
■測量精度：
40微米以上電極點測，10pA以內漏電精度
02 高頻測試解決方案
■測試對象：
對微波器件進行S參數測試、波量測試、比值測試，包括幅度、相位、延時等測試
■設備配置：
SH-C-6探針臺、HCC高低溫控制系統(tǒng)、Proscan半自動控制系統(tǒng)、PSM-1000顯微鏡、CCD成像系統(tǒng)、SS-100探針座、SS-00-RF射頻調節(jié)機構、VP0125真空泵、Daeil防震系統(tǒng)
■優(yōu)異的性能指標：
1.卡盤尺寸不小于6英寸，X-Y-Z移動行程不小于150mm?150mm?10mm, 兼容手動和半自動控制方式，對應精度0.1μm?0.1μm?0.1μm ，Theta軸電動旋轉±5°，精度0.001°。
2.卡盤采用獨立吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品，均獨立控制，獨立吸附孔直徑可選擇500 微米以下，除了最大尺寸外能夠兼容使用50.8mm?50.8mm，50mm?60mm，60mm?70mm陶瓷方片，以及單個小尺寸樣品（小尺寸樣品尺寸大于吸附孔直徑）。同時配備吸盤夾具，夾具上有定位標示滿足三種尺寸有孔的陶瓷方片吸附測試。
03 晶圓高低溫測試解決方案
■測試對象：
8inch/12inch 晶圓i-v ，c-v曲線，P-iv 測試
■設備配置：
semishare SC-8 晶圓探針臺(20-1000X光學放大)+semishare HCT-80 高低溫卡盤+semishare SS-700-D 探針座*4(0.1微米精度)+semishare 防震屏蔽系統(tǒng)+keithley 4200 SCS 半導體參數測試系統(tǒng)+(SCS/F+MP-SMU*2+CVU+PIV-A)
■測量精度：
0.5微米線路內部點針，100fA 以內漏電精度，-80℃~200℃溫度控制
04 高功率測試解決方案
■測試對象：
IGBT，SiC等大功率器件反向截止電壓和正向電流動，靜態(tài)測試，偏壓c-v測試，Q值測試，晶圓i-v ，c-v曲線，P-iv 測試等
■設備配置：
SEMISHARE X12半自動晶圓探針臺(120X–2000X光學放大)+SEMISHARE HCC-60 高低溫卡盤+SEMISHARE SS-700探針座*4(0.1微米精度)+SEMISHARE 防震屏蔽系統(tǒng)+keysight B1505B或Keithley 4200 PCT-4測量源表
■測量精度：
0.5微米線路內部點針，100fA以內漏電精度，電壓：10KV，電流：500A（脈沖），樣品RT~550℃精確溫度控制
05 低溫真空測試解決方案
■測試對象：
4inch以內晶圓，材料，器件i-v ，c-v曲線，電阻率，霍爾測試
■設備配置：
semishare SCG-4 低溫真空探針臺(20-240X光學放大)+探針座*4(10微米精度)+semishare 防震屏蔽系統(tǒng)+keithley 4200 SCS 半導體參數測試系統(tǒng)+(SCS/F+MP-SMU*2+CVU+PIV-A)
■測量精度：
40微米以上電極點針測試，100fA以內漏電精度，4~500K溫度測試范圍，1mK溫控精度，100mK溫度均勻性
06 超高氣壓環(huán)境測試解決方案
■測試對象：
4inch以內晶圓真空和高壓環(huán)境下，材料，器件i-v ，c-v
■設備配置：
semishare SCG-4 高低溫高壓探針臺(20-240X光學放大)+探針座*4(10微米精度)+semishare 防震屏蔽系統(tǒng)+keithley 4200 SCS 半導體參數測試系統(tǒng)+(SCS/F+MP-SMU*2+CVU+PIV-A)
■測量精度：
40微米以上電極點針測試，10^-14Pa~ 1Mpa壓力可調，100fA 以內漏電精度，4~500K 溫度測試范圍，1mK溫控精度，100mK溫度均勻性
作為全球先進的探針臺設備主流供應商，森美協爾先進探針臺測試應用解決方案將持續(xù)助力行業(yè)技術應用，為半導體量測設備領域的各大知名客戶提供先進的探針臺解決方案，共同推動半導體生態(tài)產業(yè)加速，邁向科技未來。