隨著5G，人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等新興科技的快速發(fā)展，科技智能產(chǎn)物也日益滲透進(jìn)了我們的日常工作生活當(dāng)中，而這些智能產(chǎn)物的組成都離不開(kāi)一個(gè)核心的重要部件--芯片。
探針臺(tái)的用途
顧名思義，探針臺(tái)主要是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針及探針座，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻和電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)；適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析、抽查檢測(cè)等。
探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。
從操作上來(lái)區(qū)分探針臺(tái)有：手動(dòng)，半自動(dòng)，全自動(dòng)
從功能上來(lái)區(qū)分探針臺(tái)涵蓋：溫控探針臺(tái)，真空探針臺(tái)（超低溫探針臺(tái)），RF探針臺(tái)，LCD平板探針臺(tái)，霍爾效應(yīng)探針臺(tái)，表面電阻率探針臺(tái)
探針臺(tái)的使用方式
以手動(dòng)探針臺(tái)為例，探針臺(tái)的使用方式為：
1.將樣品載入真空卡盤(pán)，開(kāi)啟真空閥門(mén)控制開(kāi)關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤(pán)上；
2.使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品；
3.使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下；
4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心；
5.待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢，以防動(dòng)作過(guò)大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí)，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，最后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng)，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸；
6.確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后，則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試。
探針臺(tái)的規(guī)格特點(diǎn)
以森美協(xié)爾的SH系列高配置分析探針臺(tái)為例
?背電極測(cè)試功能：樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空
?U型平臺(tái)，最多可放置12個(gè)針座
?平臺(tái)可以快速升降，行程 6mm，并帶自動(dòng)鎖定功能;可以上下微調(diào)，行程25mm，升降精度1um
?顯微鏡快速傾仰30度 ，移動(dòng)精度1um
?光學(xué)顯微鏡20~4000X放大
?機(jī)械精度0.1微米
?X-Y-Z行程：12mm-12mm-12mm
可選附件：
激光微加工/探針卡夾具/顯微鏡暗場(chǎng)/DIC/Normarski 檢測(cè)光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試接口部件/液晶熱點(diǎn)偵測(cè)套裝/高壓/大電流測(cè)試套裝/加熱臺(tái)/高低溫樣品臺(tái)/屏蔽箱/轉(zhuǎn)接頭/防震臺(tái)/鍍金卡盤(pán)/同軸叁軸卡盤(pán)/光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試選件/射頻測(cè)試附件/有源探頭/低電流/電容測(cè)試/兼容積分球測(cè)試選件/光纖夾具耦合測(cè)試選件/封裝器件夾具/PCB/封裝夾具測(cè)試選件/特殊定制
除此之外，SH高配置系列還具有幾大亮點(diǎn)看點(diǎn)
?氣控式卡盤(pán)移動(dòng)技術(shù)
通過(guò)對(duì)應(yīng)的氣浮開(kāi)關(guān)，提供3種快速移動(dòng)方式：?jiǎn)问挚刂芚/Y方向快速移動(dòng)，雙手控制樣品臺(tái)全平面快速移動(dòng)；
與普通的氣浮式樣品臺(tái)相比，SH的氣浮式移動(dòng)既能輕松快速的移動(dòng)拉出樣品臺(tái)裝載晶圓，又能在X/Y方向?qū)蝹€(gè)DIE進(jìn)行精準(zhǔn)定位測(cè)試，實(shí)現(xiàn)高效的晶圓測(cè)試。
?大手柄微分頭驅(qū)動(dòng)
卡盤(pán)移動(dòng)平臺(tái)配有粗調(diào)與精調(diào)功能，精調(diào)旋鈕Mitutoyo大手柄驅(qū)動(dòng)微分頭，相比傳統(tǒng)的小型微分頭調(diào)節(jié)，操作手感更舒適、調(diào)節(jié)更順暢且無(wú)回程差，手動(dòng)高效測(cè)試，全面提升測(cè)試效率，節(jié)約客戶測(cè)試成本。
?三段式升降針座平臺(tái)
三段式針座平臺(tái)快速升降（0，300um,3mm）+微調(diào)(40mm,移動(dòng)分辨率2~5um)，x-y-z三方向重復(fù)性優(yōu)于±1um ，可重復(fù)（1μm）的針座平臺(tái)有三個(gè)離散位置，用于接觸，分離（300μm）和裝載（3 mm），并帶有安全鎖裝置，可防止探頭或晶圓意外損壞的同時(shí)，提供直觀的控制和準(zhǔn)確的接觸定位，實(shí)現(xiàn)最準(zhǔn)確的測(cè)量效果，該功能在高頻與大功率測(cè)試中至為重要。
?顯微鏡氣控式升降調(diào)節(jié)
?氣浮式自動(dòng)平衡防震桌
?可加載激光器