助力行業(yè)客戶量測技術(shù)應(yīng)用，森美協(xié)爾先進(jìn)探針臺測試應(yīng)用解決方案已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體測試測量領(lǐng)域，以創(chuàng)新先進(jìn)的晶圓探針臺技術(shù)、優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)為業(yè)內(nèi)廣大客戶提供先進(jìn)的探針臺解決方案，助力行業(yè)客戶測試測量技術(shù)應(yīng)用，有效提質(zhì)增效，多年來森美協(xié)爾深得客戶信賴。
先進(jìn)探針臺解決方案 助力客戶量測技術(shù)應(yīng)用
01 高校教育實(shí)驗(yàn)室解決方案
■測試對象：
4inch/6inch晶圓i-v ，c-v曲線，P-iv 測試
■設(shè)備配置：
SEMISHARE SM-6 晶圓探針臺(16-100X光學(xué)放大)+SEMISHARE SS-40探針座*4(10微米精度)+keithley 2400 測量源表
■測量精度：
40微米以上電極點(diǎn)測，10pA以內(nèi)漏電精度
02 高頻測試解決方案
■測試對象：
對微波器件進(jìn)行S參數(shù)測試、波量測試、比值測試，包括幅度、相位、延時(shí)等測試
■設(shè)備配置：
SH-C-6探針臺、HCC高低溫控制系統(tǒng)、Proscan半自動(dòng)控制系統(tǒng)、PSM-1000顯微鏡、CCD成像系統(tǒng)、SS-100探針座、SS-00-RF射頻調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、VP0125真空泵、Daeil防震系統(tǒng)
■優(yōu)異的性能指標(biāo)：
1.卡盤尺寸不小于6英寸，X-Y-Z移動(dòng)行程不小于150mm?150mm?10mm, 兼容手動(dòng)和半自動(dòng)控制方式，對應(yīng)精度0.1μm?0.1μm?0.1μm ，Theta軸電動(dòng)旋轉(zhuǎn)±5°，精度0.001°。
2.卡盤采用獨(dú)立吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品，均獨(dú)立控制，獨(dú)立吸附孔直徑可選擇500 微米以下，除了最大尺寸外能夠兼容使用50.8mm?50.8mm，50mm?60mm，60mm?70mm陶瓷方片，以及單個(gè)小尺寸樣品（小尺寸樣品尺寸大于吸附孔直徑）。同時(shí)配備吸盤夾具，夾具上有定位標(biāo)示滿足三種尺寸有孔的陶瓷方片吸附測試。
03 晶圓高低溫測試解決方案
■測試對象：
8inch/12inch 晶圓i-v ，c-v曲線，P-iv 測試
■設(shè)備配置：
semishare SC-8 晶圓探針臺(20-1000X光學(xué)放大)+semishare HCT-80 高低溫卡盤+semishare SS-700-D 探針座*4(0.1微米精度)+semishare 防震屏蔽系統(tǒng)+keithley 4200 SCS 半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)+(SCS/F+MP-SMU*2+CVU+PIV-A)
■測量精度：
0.5微米線路內(nèi)部點(diǎn)針，100fA 以內(nèi)漏電精度，-80℃~200℃溫度控制
04 高功率測試解決方案
■測試對象：
IGBT，SiC等大功率器件反向截止電壓和正向電流動(dòng)，靜態(tài)測試，偏壓c-v測試，Q值測試，晶圓i-v ，c-v曲線，P-iv 測試等
■設(shè)備配置：
SEMISHARE X12半自動(dòng)晶圓探針臺(120X–2000X光學(xué)放大)+SEMISHARE HCC-60 高低溫卡盤+SEMISHARE SS-700探針座*4(0.1微米精度)+SEMISHARE 防震屏蔽系統(tǒng)+keysight B1505B或Keithley 4200 PCT-4測量源表
■測量精度：
0.5微米線路內(nèi)部點(diǎn)針，100fA以內(nèi)漏電精度，電壓：10KV，電流：500A（脈沖），樣品RT~550℃精確溫度控制
05 低溫真空測試解決方案
■測試對象：
4inch以內(nèi)晶圓，材料，器件i-v ，c-v曲線，電阻率，霍爾測試
■設(shè)備配置：
semishare SCG-4 低溫真空探針臺(20-240X光學(xué)放大)+探針座*4(10微米精度)+semishare 防震屏蔽系統(tǒng)+keithley 4200 SCS 半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)+(SCS/F+MP-SMU*2+CVU+PIV-A)
■測量精度：
40微米以上電極點(diǎn)針測試，100fA以內(nèi)漏電精度，4~500K溫度測試范圍，1mK溫控精度，100mK溫度均勻性
06 超高氣壓環(huán)境測試解決方案
■測試對象：
4inch以內(nèi)晶圓真空和高壓環(huán)境下，材料，器件i-v ，c-v
■設(shè)備配置：
semishare SCG-4 高低溫高壓探針臺(20-240X光學(xué)放大)+探針座*4(10微米精度)+semishare 防震屏蔽系統(tǒng)+keithley 4200 SCS 半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)+(SCS/F+MP-SMU*2+CVU+PIV-A)
■測量精度：
40微米以上電極點(diǎn)針測試，10^-14Pa~ 1Mpa壓力可調(diào)，100fA 以內(nèi)漏電精度，4~500K 溫度測試范圍，1mK溫控精度，100mK溫度均勻性
作為全球先進(jìn)的探針臺設(shè)備主流供應(yīng)商，森美協(xié)爾先進(jìn)探針臺測試應(yīng)用解決方案將持續(xù)助力行業(yè)技術(shù)應(yīng)用，為半導(dǎo)體量測設(shè)備領(lǐng)域的各大知名客戶提供先進(jìn)的探針臺解決方案，共同推動(dòng)半導(dǎo)體生態(tài)產(chǎn)業(yè)加速，邁向科技未來。